mems是什么材料?

MEMS是微机电系统的简称，由硅、金属、陶瓷等材料制成。它结合了电子与机械功能，尺寸通常在微米级别。常见应用有手机传感器、汽车安全气囊和医疗设备。这种材料轻便、耐用，能精确控制微小动作。制造过程包括光刻、蚀刻和沉积技术，成本较低，适合大规模生产。

MEMS材料具有高灵敏度和低功耗特点，广泛应用于消费电子、工业控制和航空航天领域。例如，陀螺仪、加速度计和压力传感器都依赖MEMS技术。这种材料还能承受极端环境，如高温或高压。未来，MEMS将在物联网和人工智能中发挥更大作用，推动智能设备发展。