时间:01-19人气:25作者:柠夏初开
芯片靶材是制造芯片时使用的原材料,主要成分有高纯度金属、陶瓷或合金。常见的靶材材料包括铜、铝、金、钛等,这些材料通过溅射工艺沉积在硅片上,形成电路图案。一块靶材的纯度需达到99.999%以上,杂质含量极低,才能保证芯片性能稳定。芯片制造过程中,靶材消耗量很大,一块直径300毫米的靶材可生产数千片晶圆。
芯片靶材的质量直接影响芯片的良率和可靠性。靶材的晶体结构、密度和表面平整度都有严格要求,生产靶材需要精密的冶金技术。目前全球芯片靶材市场主要由日本、美国企业主导,中国正在加速自主研发。随着芯片制程不断缩小,对靶材的性能要求也越来越高,新型靶材材料正在不断涌现。
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