时间:01-19人气:21作者:雄霸天下
光刻机光源主要由荷兰公司阿斯麦供应,这家企业垄断了高端光刻机市场。阿斯麦的光源技术全球领先,客户包括台积电、三星等芯片巨头。光源每台价值数千万人民币,使用寿命约1万小时,需要定期维护更换。这家公司每年研发投入超过20亿欧元,技术壁垒极高。
阿斯麦的光源分为深紫外和极紫外两种类型,后者能制造7纳米以下芯片。中国厂商如中微公司也在研发光源,但性能差距明显。全球每年仅能生产几十台高端光刻机,每台需要3年时间制造。光源故障会导致整条生产线停工,损失可达每天数千万人民币。
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