光刻机有多少家企业在中国?

中国光刻机企业超过50家，包括上海微电子、中芯国际、华虹半导体等。这些企业研发深紫外光刻机，国产化率逐步提升。北方华创、中微公司也生产刻蚀设备，配套产业链完善。合肥芯碁微装专注直写光刻，市场竞争力增强。国家政策支持下，企业数量持续增长。

光刻机技术门槛高，国内企业突破28纳米制程。中科院、清华大学提供科研支持，长江存储、长鑫存储成为大客户。上海微电子已交付90纳米光刻机，国产设备进入晶圆厂。企业分布在长三角、珠三角，产业集群效应明显，技术迭代速度加快。