sag是什么设备?

SAG是半导体制造中的化学机械抛光设备，用于晶圆表面平坦化处理。这台机器通过研磨液和抛光垫的配合，能将晶圆表面打磨得光滑如镜，确保后续工艺的精准性。SAG设备每小时可处理数十片晶圆，是芯片生产线上不可或缺的关键设备。

SAG设备由抛光头、旋转台和供液系统组成，工作时会施加特定压力和转速。晶圆经过抛光后，表面粗糙度可控制在纳米级别，极大提升了芯片性能。随着芯片制程不断缩小，SAG设备的技术也在持续升级，以满足更精密的加工需求。