gdms离子溅射厚度是多少?

gdms离子溅射厚度一般在几纳米到几百纳米之间。具体数值取决于溅射时间、功率和材料类型。例如，金溅射30秒约10纳米，铂溅射60秒可达50纳米。实际应用中，薄膜厚度需要根据实验需求调整，避免过薄或过厚影响效果。

离子溅射厚度可通过溅射速率估算。常见金属如铝、铜的溅射速率约为每分钟5-20纳米。非金属材料如二氧化硅溅射较慢，厚度可能更低。操作时需监控溅射条件，确保厚度均匀一致。实验前建议先做小样测试，确定最佳参数。