光刻机有多少零件?

光刻机由超过十万个精密零件组成，包括镜头、光源、工件台、测量系统等核心部件。这些零件来自全球上千家供应商，每个零件的误差控制在微米级，确保机器稳定运行。一台高端光刻机的重量可达几十吨，组装过程需要数百名工程师协作完成。

光刻机的零件数量相当于一辆汽车的几百倍，其中仅光学系统就有数百个镜片和反射镜。机器内部的电路板数量达数千块，连接线总长能绕工厂几圈。这些零件共同作用，才能在指甲盖大小的芯片上刻出数十亿个晶体管。