光刻机有中国专利吗?

中国光刻机领域已有大量专利，涵盖光源系统、精密机械、控制软件等多个关键技术。国内企业如上海微电子、中芯国际等提交了上千项专利，涉及深紫外光刻、极紫外光刻等先进技术。这些专利覆盖了光刻机的核心组件和制造工艺，部分技术达到国际先进水平。

中国光刻机专利数量持续增长，2022年新增专利超过500项。专利内容包括双工件台技术、高精度光学镜头、纳米级控制系统等。国内科研院所与企业合作，突破了多项“卡脖子”技术，逐步实现光刻机关键部件的国产化替代。这些专利为国内光刻机产业发展提供了重要支撑。