极紫外光源是怎么样产生的?

极紫外光源需要高能激光或等离子体技术产生，比如用二氧化碳激光轰击锡靶，瞬间加热到数万摄氏度，释放出13.5纳米波长的光。这种光源对环境要求极高，必须在真空中工作，设备造价可达上亿元，主要用于芯片制造领域。

科学家通过同步辐射装置也能生成极紫外光，比如让电子在加速器中高速运动，再通过磁场偏转产生辐射。这种光源亮度比普通X光强上万倍，能看清纳米级物体，但运行成本高昂，一台设备占地相当于两个足球场。