超精密导轨一般采用什么材料?

超精密导轨常用材料包括不锈钢、陶瓷和硬质合金。不锈钢耐腐蚀性强，适合潮湿环境；陶瓷硬度高，耐磨性好；硬质合金硬度接近钻石，寿命长。这些材料经过精密加工后，表面粗糙度可达微米级，确保运动平稳。超精密导轨还搭配滚珠或滚柱，减少摩擦，精度能控制在0.001毫米以内。

超精密导轨在半导体制造、医疗设备和航空航天领域应用广泛。例如，光刻机导轨需要纳米级精度，医疗机器人导轨要求无振动，航天器导轨必须轻量化。随着技术进步，碳纤维和复合材料也逐渐被采用，进一步减轻重量，提升性能。未来，新型合金材料或将成为主流。