时间:01-18人气:14作者:夏夜凉心
国外光刻机技术领先,荷兰阿斯麦尔的极紫外光刻机能达到7纳米以下,日本东京电子的深紫外光刻机支持5纳米工艺,美国应用材料的浸没式设备可处理3纳米芯片。这些设备精度极高,一台机器价值上亿元,每年产量仅几十台,全球顶尖芯片厂都依赖这些设备。
光刻机是芯片制造的核心设备,纳米数越小技术越先进。目前最先进的EUV光刻机可生产2纳米芯片,而成熟制程的DUV设备也能做到7纳米。中国台湾的台积电、韩国的三星都采购这些设备,一条生产线需要十几台光刻机,投资额超过百亿元。
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