国产芯片光刻机是哪家公司生产?

国产光刻机主要由上海微电子装备有限公司生产。这家企业已经研发出90纳米光刻机，正在攻关28纳米技术。光刻机是芯片制造的核心设备，一台机器包含上万个精密零件，研发难度极大。上海微电子通过十多年努力，打破了国外企业的技术垄断。

国产光刻机还涉及中科院光电所、北方华创等单位的协作。这些机构分别负责光学系统、精密运动控制等关键技术攻关。目前国产光刻机已经应用于部分生产线，但与国际顶尖水平仍有差距。未来还需要更多企业和科研人员投入研发。