光刻机是什么材料?

光刻机主要由钢铁、铝合金、陶瓷和特殊玻璃等材料制成。核心部件使用高精度金属，确保设备稳定运行。光学系统依赖透镜和反射镜，这些元件由超纯玻璃打造，精度达到纳米级。机器内部还大量使用碳纤维复合材料，减轻重量同时提升强度。

电子控制系统需要大量铜线和硅芯片，保证电路高效传导。精密运动部件采用陶瓷轴承，减少摩擦损耗。整机外壳多用铝合金，兼顾散热与轻便。部分关键位置使用钛合金，增强耐腐蚀性。这些材料共同确保光刻机在极端环境下稳定工作。