pod在半导体行业是什么意思?

pod在半导体行业里指的是晶圆厂里的生产单元，也叫生产批次。一个pod通常装满硅片，通过自动化系统在机台间流转，比如光刻、蚀刻这些工序。一个pod能装25片晶圆，每天处理数千片是常事。pod的颜色和标识不同，代表不同工艺阶段，方便追踪和管理。

pod的设计直接影响生产效率，材质要防静电，结构要稳固。半导体厂里，pod的调度是关键环节，延误会影响整条线。现在还有智能pod，内置传感器监控温湿度。不同厂商pod尺寸有差异，但标准化的趋势越来越明显，目的是减少浪费，提升良率。