氮化镓材料的工艺流程是什么?

氮化镓材料生长需要先在衬底上沉积缓冲层，再通过金属有机化学气相沉积外延生长。工艺包括清洗衬底、高温退火、生长氮化铝成核层，最后沉积氮化镓薄膜。整个过程需精确控制温度、压力和气体流量，确保晶体质量。

氮化镓器件制造涉及光刻、刻蚀、金属电极沉积等步骤。先在氮化镓层上制作台面结构，再通过电子束蒸发镀上金镍合金电极。最后进行钝化处理，用二氧化硅或氮化硅保护器件表面，提高稳定性和可靠性。