真空泵的极限真空度能达到多少呢?

真空泵的极限真空度一般在10^-6帕到10^-9帕之间，具体数值取决于泵的类型和设计。分子泵能达到10^-8帕，扩散泵可达10^-6帕，而旋片泵通常在10^-2帕左右。不同泵的工作原理和结构差异会导致真空度表现不同。

工业应用中，超高真空泵可达到10^-10帕，极端环境下甚至更低。实验室用离子泵能实现10^-11帕的真空度，但需要严格密封和持续运行。实际使用中，真空度还会受腔体泄漏和材料放气的影响。