油扩散泵是什么?

油扩散泵是一种利用高速蒸汽流抽取气体的真空设备，常用在实验室和工业生产中。它通过加热特殊油液产生蒸汽，蒸汽向下流动时带动气体分子向真空方向移动，从而获得高真空环境。这种泵能抽除空气、水蒸气等多种气体，广泛应用于镀膜、半导体制造等领域。

油扩散泵结构简单，维护方便，但需要定期更换油液。工作时泵内温度可达200摄氏度以上，因此需要冷却水循环降温。常见型号抽速每秒可达数百升，极限真空度能达10负5次方帕斯卡。这种泵成本较低，适合中小型真空系统使用。