荷兰光刻机由中国提供的重要部件是什么?

荷兰光刻机由中国提供的重要部件包括光学镜头、精密轴承和真空泵。这些部件需要极高精度，中国制造的零件能满足纳米级要求。光学镜头决定成像清晰度，轴承保证设备稳定运行，真空泵维持内部环境纯净。每年中国供应数万套这类核心组件，支撑全球光刻机生产。

光刻机依赖中国制造的激光发生器和温度控制系统。激光发生器产生关键光源，温控系统确保设备恒温。中国供应商能生产上千种定制零件，涵盖从微米到亚毫米级别。这些技术突破让中国成为全球光刻产业链不可或缺的一环，每年相关贸易额达数十亿元。