半导体制造中fdc是什么意思?

半导体制造中FDC是缺陷分类的缩写，指对生产过程中出现的缺陷进行归类和分析。工程师通过FDC找出芯片表面的划痕、杂质、尺寸偏差等问题，帮助提升良品率。比如晶圆上的颗粒污染、金属残留、光刻误差等都会被详细记录，再结合工艺参数优化生产流程。

FDC数据还能预测设备故障风险。某厂曾通过分析FDC发现刻蚀机腔体异常，及时维护避免了批量报废。实际应用中，FDC系统每小时处理数千条缺陷信息，覆盖光刻、蚀刻、薄膜等关键工序，是半导体质量控制的核心工具。