时间:01-18人气:13作者:呆萌综合征
真空镀膜的最佳轰击真空一般在10^-3到10^-4帕斯卡之间。这个范围能确保靶材表面充分清洁,提高镀层附着力。轰击时真空过低会导致气体残留,过高则影响等离子体稳定性,影响镀膜质量。
实际操作中,设备类型和镀膜材料会调整具体数值。金属镀膜可能需要10^-5帕斯卡,而氧化物镀膜在10^-3帕斯卡也能达到理想效果。真空度过低会产生杂质颗粒,过高则增加设备成本,需平衡工艺需求与经济性。
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