mems属于半导体吗?

MEMS确实属于半导体范畴，它结合了半导体制造技术与微机械结构，常见的MEMS器件包括传感器、执行器和微流控芯片。这些器件通过光刻、蚀刻等半导体工艺在硅片上加工而成，广泛应用于智能手机、汽车电子和医疗设备等领域，市场规模已达数百亿元。

MEMS器件的核心材料是硅，与集成电路相同，生产流程也高度相似，包括薄膜沉积、光刻图形和离子注入等步骤。尽管MEMS包含机械运动部件，但其制造基础仍是半导体技术，因此被归类为半导体器件的一种，全球每年有数十亿颗MEMS芯片出货。