光刻材料是什么?

时间:01-18人气:14作者:一朵小红花

光刻材料是制造芯片的关键原料,包括光刻胶、显影液和蚀刻剂。光刻胶涂在硅片上,经紫外线照射后形成图案,显影液洗掉未固化部分,蚀刻剂刻出电路。这些材料精度要求极高,误差需控制在纳米级。

光刻材料分为正性和负性两种,正性胶遇光分解,负性胶遇光固化。先进制程需要极紫外光刻胶,价格昂贵且技术门槛高。中国正在研发国产材料,打破国外垄断,保障产业链安全。

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