光刻机能用多久?

光刻机使用寿命长达10到15年，每天可工作20小时以上。荷兰ASML的EUV光刻机造价上亿元，零件超过10万个，需要专业团队维护保养。日本尼康的设备寿命较短，约8到12年，但更换成本依然高昂。芯片厂会定期升级零件，确保机器稳定运行。

光刻机老化后性能下降，精度无法满足先进制程需求。台积电的3纳米产线每台光刻机每年折旧费达千万级别。中芯国际的旧设备只能生产28纳米芯片，效率比新机器低30%。随着技术迭代，老光刻机最终会被淘汰，回收价值不足原价的1成。