光刻机用到的零件是什么?

光刻机由上万种精密零件组成，包括光源系统、镜头组件、工件台、测量仪器和控制系统。光源有深紫外激光和极紫外激光，镜头由多块透镜拼接，工件台需纳米级移动精度。测量仪器实时监控对准误差，控制系统协调各部件运行。

零件还涵盖真空腔体、冷却系统、减震平台和软件算法。真空腔体防止杂质干扰，冷却系统维持设备恒温，减震平台抵消环境震动。软件算法优化曝光路径，确保芯片图案精准复制。这些零件缺一不可，共同决定光刻性能。