国内有光刻设备生产商吗?

国内确实有光刻设备生产商，比如上海微电子装备公司已经研发出90纳米工艺的光刻机。中科院下属的科研院所也在积极攻关，北京华创精电等企业专注于中低端市场。华为、中芯国际等企业也在自主研发相关设备，逐步打破国外垄断。

国内光刻设备产业起步较晚，但发展速度很快。目前28纳米工艺的光刻机已经进入测试阶段，14纳米设备正在研发中。国家投入大量资金支持，地方政府也出台政策扶持，产业链上下游企业协同创新，未来有望实现全自主生产。