光刻机可以生产几纳米的芯片?

光刻机能生产3纳米甚至更小的芯片。顶级设备如EUV光刻机，精度可达原子级别。台积电、三星用这类技术制造手机芯片。荷兰阿斯麦尔公司垄断高端市场，一台机器价值上亿元。芯片越小，性能越强，但技术难度越大。

纳米级芯片需要极精密的光学系统。激光束通过掩模版投射到硅片上，形成电路图案。工艺每进步一代，线宽减少一半。5纳米芯片里有数百亿个晶体管，头发丝直径能容纳几千条线。中国正在研发国产光刻机，突破技术封锁。