一台光刻机配几台刻蚀机好?

一台光刻机一般搭配3到5台刻蚀机比较合适，这样能保证生产效率平衡。光刻机负责精细图形转移，刻蚀机负责去除多余材料，两者配合紧密。比如一条生产线里，光刻机速度较慢，刻蚀机数量要多些才能跟上节奏。实际配置还会根据芯片工艺复杂度调整，先进制程可能需要更多刻蚀机支持。

刻蚀机种类多样，有干法刻蚀和湿法刻蚀等不同类型。光刻机每完成一步图形，刻蚀机就要处理对应区域。一台高端光刻机每天能处理几十片晶圆，配套刻蚀机数量不足会导致产能浪费。工厂会根据具体产品需求，灵活调整刻蚀机与光刻机的比例，确保生产流程顺畅。