中国有光刻机设备吗?

时间:01-20人气:22作者:甜味橘猫

中国确实拥有光刻机设备,但高端光刻机主要依赖进口。上海微电子等企业已研发出部分中端光刻机,如90纳米制程设备,但尖端7纳米以下光刻机仍需从荷兰ASML公司购买。国内光刻机技术正在逐步突破,距离国际顶尖水平还有差距。

光刻机是芯片制造的核心设备,一台EUV光刻机价值上亿元,包含超过10万个零件。中国每年进口光刻机花费数百亿元,国产化率不足20%。随着华为等企业加大研发投入,国内光刻机产业链正在完善,未来有望实现更多自主突破。

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