光刻机核心零件是什么材质?

光刻机的核心零件包括镜头、光源和工件台，材质多为石英玻璃、特种陶瓷和碳化硅。石英玻璃透光性好，能精准传递紫外光；碳化硅硬度高，保证工件台稳定移动；特种陶瓷耐高温，确保设备长时间运行。这些材料共同支撑光刻机的精密性能。

光刻机的核心零件还涉及光学元件和机械结构，材质包括氟化钙、蓝宝石和铝合金。氟化钙用于透镜，减少光散射；蓝宝石硬度极高，保护光学系统；铝合金轻便坚固，提升设备响应速度。这些材料的选择直接影响光刻机的分辨率和稳定性。