蚀刻机和光刻机有关系吗?

蚀刻机和光刻机都是半导体制造中的关键设备，但功能不同。蚀刻机用于在芯片表面刻蚀图案，光刻机则负责将电路图案转移到晶圆上。两者配合使用，光刻机先“画”出图案，蚀刻机再“雕刻”出结构，缺一不可。

光刻机精度极高，决定芯片最小线宽，蚀刻机则负责精确去除多余材料。没有光刻机，蚀刻机无法工作；没有蚀刻机，光刻机的图案也无法实现。两者如同“画笔”和“刻刀”，共同完成芯片制造的核心步骤。