半导体机台设备自动化系统是什么意思?

半导体机台设备自动化系统是指通过计算机控制技术，实现半导体生产设备的自动运行和监控。该系统能够精准调节温度、压力等参数，减少人工操作误差，提高生产效率。例如，光刻机、蚀刻机等设备均可接入系统，实现24小时不间断工作，大幅降低人力成本。

这类系统还具备实时数据采集和分析功能，可自动检测设备故障并报警。操作人员只需通过中央控制台就能监控整条生产线，无需逐台检查。随着技术升级，自动化系统已能实现智能排产和远程维护，推动半导体制造向无人化工厂发展。