蒸镀的加热方式分别是哪几类?特点是什么?

蒸镀的加热方式主要有电阻加热、电子束加热和感应加热三类。电阻加热通过电流使发热体升温，设备简单成本低；电子束加热用高速电子轰击材料，温度高能量集中；感应加热利用电磁感应产生涡流发热，加热速度快效率高。

电阻加热适合镀膜材料熔点不高的情况，电子束加热能处理难熔金属，感应加热则常用于大批量生产。这些方法各有优势，选择时需考虑材料特性和生产需求，不同加热方式直接影响蒸镀效率和膜层质量。