时间:01-18人气:28作者:泉鸣旭
造一台光刻机需要数千个精密零件,包括光源系统、镜头组、工件台和控制模块。这些零件来自全球各地,德国的光学元件、日本的轴承、美国的软件缺一不可。一台先进光刻机重达180吨,占地相当于两辆公交车,组装时车间温度必须控制在20度以下,误差不能超过头发丝的十分之一。
光刻机的研发耗时5到10年,投入资金高达50亿到100亿人民币。需要2000多名工程师协作,涉及光学、机械、材料、化学等十几个学科。一台高端光刻机每天能生产上千片芯片,但维护成本每年也要2000万以上,更换一个零件可能要等上3个月。
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