光刻机的核心部件是什么东西?

光刻机的核心部件包括光源系统、掩模版、物镜系统、工件台和对准系统。光源系统产生特定波长的紫外光或极紫外光，掩模版承载电路图案，物镜系统将图案精确投影到硅片上，工件台确保硅片精确定位，对准系统保证各层图案对齐无误。这些部件协同工作，实现纳米级图案的转移。

光刻机还涉及投影镜头、光阑和检测系统。投影镜头由多组透镜组成，聚焦并缩小图案；光阑控制光束形状和大小；检测系统实时监控曝光质量。这些部件共同决定了芯片制造的精度和效率，是半导体制造的关键设备。