准分子材料是什么工艺?

准分子材料是通过激光诱导化学气相沉积工艺制备的。这种工艺利用高能激光激发气体分子，形成不稳定的准分子，再沉积在基板上生成薄膜。常用气体包括氟化氪、氟化氩等，激光波长多为紫外光，沉积温度控制在200到500摄氏度之间。薄膜厚度可达几微米，广泛应用于半导体和光学器件。

准分子材料工艺具有精度高、纯度好的特点。激光能量可精确调节，确保薄膜均匀致密。设备需真空环境，避免杂质混入。工艺步骤包括气体预处理、激光激发、沉积冷却等环节。成品可用于制造光刻掩模、激光反射镜等元件，技术门槛较高，适合高端制造领域。