纳米光刻机龙头股是哪几只?

纳米光刻机龙头股包括中微公司、北方华创、上海微电子。中微公司刻蚀设备技术领先，北方华创覆盖刻蚀和薄膜设备，上海微电子专注光刻机研发。这三家企业占据国内市场主导地位，订单量持续增长，技术突破频繁。

国内光刻机产业链中，芯源微、华峰测控、精测电子等企业表现突出。芯源微涂胶显影设备市占率高，华峰测控测试设备稳定可靠，精测电子检测设备精度领先。这些公司受益于半导体国产化浪潮，业绩增长迅速。